設備名稱：探針式膜厚測量儀（簡稱臺階儀）
型號：DektakXT
廠家：BRUKER（美國）
量測范圍：為0.1nm至1mm，分辨為0.1nm，測量重復性可以精確到0.5nm以內；測量精度：若臺階高度小于或等于100nm，指標為+/-2nm，若臺階高度大于100nm，指標為+/-1%。

收費項目名稱
測試費 校外：200元/小時、校內：100元/小時
注：開機計時，以半小時為計量單位。